1、洁净室：

空气悬浮粒子浓度受控的房间，它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。当洁净室为某一小块封闭或者形式区域时，则称为洁净区。洁净室一般有以下三种状态：

(1)空态：设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。

(2)静态：设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员。

(3)动态：设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作。

2、洁净度：以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。

3、洁净工作区：指洁净室内离地面高度0.8~1.5m（除工艺特殊要求外）的区域。

4、气流流型：对室内空气的流动形态和分布进行合理设计。有以下三种形式：

(1)单向流：沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流

(2)非单向流：凡不符合单向流定义的气流

(3)混合流：单向流和非单向流组合的气流。

5、洁净室换气次数(静态)：

注：①换气次数适用于层高小于4.0m 的洁净室; ②室内人员少、热源少时，宜采用下限值。

6、洁净室压差：主车间对相邻房间≥5Pa，洁净室对外界压差≥10Pa

7、洁净室的温、湿度要求：

8、洁净室噪音：

洁净室的空态噪声级，非单向流洁净室不应大于60dB（A），单向流、混合流洁净室不应大于65dB（A）。

9、洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值：

（1）补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和。

（2）保证供给洁净室（区）内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3/h。

10、洁净室照明要求：照度值一般在200 LX~500 LX之间